JEOL JAMP-9510F Auger-Mikrosonde
JEOL JAMP-9510F Auger-Mikrosonde
Die neue Feldemissions-Augersonde JAMP-9510F bietet mit 8 nm die weltweit beste laterale analytische Auflösung. Die Auflösung von 3 nm im Abbildungsmodus unterstreicht darüber hinaus die Vorteile einer Feldemissions-Strahlquelle gegenüber herkömmlichen LaB6-Quellen.
Mit einer „low-aberration“ Kondensorlinse, in der ein elektrostatisches Feld und ein magnetisches Feld überlagert sind, in Kombination mit einer patentierten "in-lens" Schottky Feldemissionsquelle, erreicht die JAMP-9510F sehr kleine Strahldurchmesser mit sehr hohen Strahlströmen von bis zu 500 nA.
In der JAMP-9510F kommt erstmals eine neuartige Ionenquelle, die sowohl für schnelles Absputtern, als auch für die Neutralisierung von Aufladungen geringer Energie verwendet werden kann, zum Einsatz. Mit dieser neuen Ionenquelle wird die Untersuchung isolierender Proben problemlos möglich.
Mit der JAMP-9510F können hochaufgelöste REM-Abbildung, Auger-Abbildung, Linienprofilanalysen und Tiefenprofilanalysen auch während einer Ionenätzung durchgeführt werden.
Das Elektronenspektrometer ist ein elektrostatischer, halbsphärischer Analysator (HSA) mit einem Vielkanaldetektor, optimal konzipiert für Auger-Analysen, d.h. beste Energieauflösung ohne Empfindlichkeitsverlust.
Eine benutzerfreundliche, einfache Bedienung sowie eine flexible optionale Ausstattung runden das System ab und machen die JAMP-9510F zu einem universell einsetzbaren Gerät.
Spezifikationen
| Elektronenoptik | |
|---|---|
Elektronenquelle | Feldemissionsquelle (In-lens-Schottky) |
Beschleunigungsspannung | 0.5 bis 30 kV |
Probenstrom | 10-12 bis 5 · 10-7 A |
Probenstrommessung | wahlweise über Faradaybecher oder Probenbühne |
Objektivblende | 4-stufig, motorisiert |
| Analysesystem | |
|---|---|
Analysator | Hemisphärischer, elektrostatischer Analysator |
Detektor | Vielkanaldetektion mit Channeltrons, 7 Kanäle |
Empfindlichkeit | ≥ 840.000 cps (7 Kanäle) |
| Vakuumsystem | |
|---|---|
Druck in der Analysenkammer | ≤ 5 · 10-8 Pa (optional: ≤ 1.3 x 10-8 Pa) |
| Probenbühne | |
|---|---|
Verfahrwege | X: -48 mm bis +10 mm |
Y: ± 10 mm | |
Z: ± 6 mm | |
T: 0 bis 90° | |
R: 360° (endlos) |
Optionen (Auswahl)
- EDX, EBSD, SIMS, XPS
- Große Probenbühne (max. 95mm Ø)
- Rückstreuelektronendetektor
- Probenkühlung und Probenbrucheinrichtung
- Probenheizung
- Zusätzliche Proben-Parkstation
Bitte beachten Sie:
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