JEOL JIB-4700F Mehrstrahl-System
JEOL JIB-4700F Mehrstrahl-System
Fortschritte in den Materialwissenschaften und in den Life Sciences verlangen immer höhere Anforderungen an die bildgebenden, analytischen und präparativen Möglichkeiten moderner Focused-Ion-Beam-Systeme (FIB). Das Mehrstrahlsystem JEOL JIB-4700F ist eine ideale Plattform für sämtliche Fragestellungen von der morphologischen, chemischen bis hin zur kristallographischen Analyse verschiedenster Proben. Für höchsten Probendurchsatz sorgen neben der großen, serienmäßigen Probeschleuse vor allem die leistungsfähigen Elektronen- und Ionen-Emitter. Mit einem hohen Elektronenstrom von über 300nA können sehr schnelle Verteilungsbilder der Elementzusammensetzung (EDX) und Kristallrichtungen (EBSD) aufgenommen werden. Selbst bei niedrigen Anregungsspannungen wird durch den hohen Strom eine schnelle Analytik und durch das GentleBeam-System und die In-Lens-Detektoren eine hohe laterale Auflösung gewährleistet.
Das Mehrstrahlsystem JIB-4700F verfügt serienmäßig über Software für die korrelative Mikroskopie und für die dreidimensionale Rekonstruktion von Proben durch sukzessives Schneiden und Aufnehmen von Abbildungen.
Merkmale
- Höchstauflösende Abbildung
Eine Auflösung von 1,6 nm bei einer niedrigen Beschleunigungsspannung von 1 kV wird durch eine hybride, feldfreie Objektivlinse, den GentleBeam-Modus (Gegenfeld) und In-lens-Detektion erzielt. - Kurze Analysezeit
Der InLens-Schottky-Emitter mit hoher Lebensdauer erzeugt einen intensiven und stabilen Probenstrom für schnellste Analytik. Durch ein patentiertes Linsensystem wird der Strahl selbst bei hohen Strömen und niedrigen Anregungsspannungen auf extrem kleine Durchmesser gebündelt. Dies bietet lateral höchstaufgelöste Analytik über den gesamten Spannungsbereich. - Schneller Probenabtrag
Die JEOL-eigene Hochleistungs-Ga-Ionenstrahlsäule ermöglicht eine schnelle Bearbeitung der Proben durch einen Strom von bis zu 90nA. - Flexibles Detektionssystem
Dem Anwender stehen 4 Kanäle für die simultane Darstellung und Mischung der Detektorsignale zur Verfügung.
- Vielseitigkeit
Die JIB-4700F kann individuell auf sämtliche applikativen Herausforderungen angepasst werden, beispielsweise mit EDX- und EBSD-Detektoren sowie Kryo- und Inert-Transfersystemen. - 3D-Abbildung und -Analytik
Die 3-dimensionale Proben-Rekonstruktion ist durch sequentielle Aufnahme von Abbildungen und analytischen Informationen ohne das Verfahren der Probenbühne möglich. - Kompatible Transferlösungen
Für die Herstellung von TEM-Lamellen können die TEM-Grids auf einem Retainer fixiert werden, der sowohl in JEOL-TEM-Haltern als auch im FIB-Halter einfach eingesetzt werden kann. Dadurch können Lamellen schnell und effizient im FIB-System präpariert, mittels STEM abgebildet und analysiert werden und dann in ein JEOL-TEM transferiert werden. - Korrelative Mikroskopie
Mittels der Picture-Overlay-Software können Abbildungen aus Lichtmikroskopen, REMs und TEMs intuitiv und einfach zur Navigation im FIB-System verwendet werden.
Spezifikationen
SEM | |
|---|---|
Beschleunigungsspannung | 0,1 bis 30,0kV |
Laterale Auflösung | 1,2nm (15kV, GB-Modus) |
Vergrößerung | x20 bis 1,000,000 |
Strahlstrom | 1pA bis 300nA |
Detektor (*: optional) | LED, UED, USD*, BED*, TED*, EDS* |
Probenbühne | Motorisierte, 6-Achsen-Bühne |
FIB | |
|---|---|
Beschleunigungsspannung | 1 bis 30kV |
Laterale Auflösung | 4,0nm (30kV) |
Vergrößerung | x50 bis 1,000,000 |
Strahlstrom | 1pA bis 90nA |
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